低温换热器、精馏塔等低温容器及管道置于保冷箱内，并充填绝热材料，减少冷损，否则设备无法运行;贮存低温液体的密闭容器，当外界有热量传入时，会有部分低温液体吸热而气化，压力会自动升高。为防止超压，还必须设置可靠的安全泄压装置。
深冷法中，要求低温设备的材料在低温下有足够的强度和韧性，以及有良好的焊接、加工性能。常用铝合金、铜合金、不锈钢等材料，不能采用碳素钢制品。
低温液体漏入基础，会将基础冻裂，设备倾斜。因此必须保证设备、管道和阀门的密封性，要考虑热胀冷缩可能产生的应力和变形。
二、变压吸附VPSA制氧机
变压吸附VPSA制氧过程中，所有工艺在常温常压下进
行，工艺过程中没有低温环节，因此在VPSA系统本身不存在低温危害。VPSA制氧过程中则不必考虑金属的低温脆变性能，可使用强度好可焊性强的不锈钢
材，选择范围较广。但如果同时设有液氧贮罐供氧后备系统，其低温危害与其它传统液氧贮罐系统类似。